生物法处理VOCs废气机理如图所示，VOCs废气的生物净化是微生物通过代谢活动，将废气中的VOCs转化为简单的无机物（CO2和H2O等）及细胞组成物质的过程。
有机废气处理工艺
生物过滤法（Biofilter）
生物过滤法的基本原理： 生物过滤法是指将湿化的有机废气通入填充有填料如土壤、堆肥、泥煤、树皮、珍珠岩、活性炭等的生物过滤器中，与在填料上所附着生长的生物膜（微生物）接触，被微生物所吸附降解,最终转化为简单的无机物如（如CO2、H2O、SO42-、NO3- 和Cl-等）或合成新细胞物质的过程，处理后的气体在从生物过滤器的另一端排出。
生物洗涤法(Bioscrubber)
生物洗涤法的基本原理： 生物吸收法也叫生物洗涤法。它是利用由微生物、营养物和水组成的微生物吸收液处理有机废气,适合于去除可溶性有机废气。吸收了废气的微生物混合液再进行好氧处理，去除液体中吸收的污染物，经处理后的吸收液再重复使用。在生物洗涤法中，微生物及其营养物配料存在于液体中，气体污染物通过与悬浮液的接触转移到液体中，从而被微生物降解。
生物滴滤法(Biotrickling filter)
生物滴滤法的基本原理： 生物滴滤法处理VOCs的原理与生物过滤法基本相同,它是介于生物过滤法与生物洗涤法之间的一种生物处理技术。生物滴滤反应器中一般填充惰性填料,如陶瓷、碎石、珍珠岩、塑料材质填料等，在此系统中填料仅为微生物提供一定的附着表面。废气同生长在惰性填料上的生物膜（微生物）接触,从而被生物降解。